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真空波纹管，用在超高真空系统中可实现弯曲、伸缩和偏心作用，要求真空波纹管有可靠的密封性能和使用寿命。
图为成型真空波纹管的使用形式
真空波纹管通常分为成型真空波纹管和焊接真空波纹管两种，用在超高真空系统中的真空波纹管材质，一般选用SUS316型号不锈钢。
制作口径稍微大一点儿的成型真空波纹管，首先将不锈钢板材卷成筒状，接口处焊接。将圆筒插入真空波纹管模具中，通过液压完成成型真空波纹管的制作。
在超高真空系统中，连接分子泵和机械泵的真空波纹管，多采用两端为NW 法兰的成型真空波纹管。
成型真空波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型真空波纹管不足的是焊接真空波纹管。
焊接真空波纹管是将圆环状的不锈钢薄片，内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管(图2)。焊接方式为等离子焊，这种真空波纹管有极大的伸缩性，是超高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理选择真空波纹管的自然长度，使用寿命可达数十万次以上。
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